РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Светлов С.П.
Результатов найдено: 1
|
АНАЛИЗ НЕРАВНОМЕРНОСТИ ТОЛЩИНЫ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ КРЕМНИЯ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ИЗ СУБЛИМАЦИОННЫХ ИСТОЧНИКОВ В ВАКУУМЕСветлов С.П.,Денисов С.А.,Болдыревский П.Б.,Коровин А.Г.,Шенгуров В.Г.
|