РУАЭСТ (RUAEST)
|
Тензорезистивные МЭМС-преобразователи давления и модули на их основеПанков В.В.,Гусев Д.В.,Данилова Н.Л.,Литвиненко Р.С.,Михайлов Ю.А.,Суханов В.С.
|