Статьи автора: Михайлов Ю.А.

Результатов найдено: 1

	Тензорезистивные МЭМС-преобразователи давления и модули на их основе Михайлов Ю.А.,Гусев Д.В.,Данилова Н.Л.,Литвиненко Р.С.,Панков В.В.,Суханов В.С. Известия высших учебных заведений. Электроника, 2015, 5, С. 63-67