РУАЭСТ (RUAEST)
|
Формирование наноразмерных элементов затворов СВЧ-транзисторов методом ионно-лучевой литографииЛаврентье К.К.,Зайцев А.А.,Неволин В.К.,Розанов Р.Ю.,Царик К.А.
|