РУАЭСТ (RUAEST)
|
ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙКосяков В.И.,Файнер Н.И.
Журнал структурной химии, 2015, 1, С. 171-182
|